สารบัญ:
คำจำกัดความ - Nanolithography หมายถึงอะไร
Nanolithography เป็นสาขาของนาโนเทคโนโลยีและชื่อของกระบวนการสำหรับการพิมพ์การเขียนหรือการแกะสลักในระดับจุลภาคเพื่อสร้างโครงสร้างขนาดเล็กอย่างไม่น่าเชื่อ โดยทั่วไปกระบวนการนี้จะใช้สำหรับการสร้างอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่เล็กลงและเร็วขึ้นเช่นไมโคร / นาโนนาโนและตัวประมวลผล ส่วนใหญ่จะใช้นาโนเทคโนโลยีในด้านต่าง ๆ ของเทคโนโลยีจากอิเล็กทรอนิกส์การแพทย์Techopedia อธิบาย Nanolithography
Nanolithography เป็นคำที่ใช้อธิบายกระบวนการต่าง ๆ ในการสร้างรูปแบบระดับนาโนบนสื่อต่าง ๆ ซึ่งส่วนใหญ่เป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ จุดประสงค์หลักของ nanolithography คือการหดตัวของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ซึ่งทำให้ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์จำนวนมากถูกยัดเข้าไปในพื้นที่ขนาดเล็กเช่นวงจรรวมขนาดเล็กที่ทำให้อุปกรณ์มีขนาดเล็กลงซึ่งเร็วกว่าและราคาถูกกว่าเนื่องจากต้องใช้วัสดุน้อยลง สิ่งนี้ยังช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและเวลาตอบสนองเนื่องจากอิเล็กตรอนจะต้องเดินทางในระยะทางที่สั้นมาก
เทคนิคบางอย่างที่ใช้ในการทำเมทานอลมีดังนี้
- การพิมพ์หิน X-ray - ดำเนินการผ่านวิธีการพิมพ์แบบใกล้ชิดและอาศัยรังสีเอกซ์ใกล้สนามในการเลี้ยวเบนของเฟรส มันเป็นที่รู้จักกันในการขยายความละเอียดของแสงถึง 15 นาโนเมตร
- Double patterning - วิธีที่ใช้ในการเพิ่มความละเอียด pitch ของกระบวนการพิมพ์หินโดยการพิมพ์รูปแบบเพิ่มเติมระหว่างช่องว่างของรูปแบบที่พิมพ์แล้วในเลเยอร์เดียวกัน
- Electron-beam direct-write (EBDW) lithography - กระบวนการที่ใช้กันมากที่สุดในการพิมพ์หินซึ่งใช้ลำแสงอิเล็กตรอนในการสร้างรูปแบบ
- Extreme ultraviolet (EUV) lithography - รูปแบบของการพิมพ์หินที่ใช้ความยาวคลื่นแสงเกินขีด 13.5 นาโนเมตร
