สารบัญ:
คำจำกัดความ - ระบบ MEMS หมายถึงอะไร
ระบบไฟฟ้าขนาดเล็ก (MEMS) เป็นโมดูลเครื่องกลขนาดเล็กที่ขับเคลื่อนด้วยไฟฟ้า NEMS ผสานคอมพิวเตอร์เข้ากับโมดูลเชิงกลเช่นเซ็นเซอร์แอคชูเอเตอร์และมิเรอร์ พวกเขาเป็นระบบที่ประหยัดต้นทุนที่ใช้เทคโนโลยีการประดิษฐ์อุปกรณ์ที่ดัดแปลง
MEMS มีการใช้งานที่หลากหลายและมีหลากหลายวิธีในการออกแบบการผลิตการใช้ประโยชน์จากส่วนประกอบต่าง ๆ การย่อขนาดและระบบไฟฟ้าแบบรวมมาตรฐานใหม่ MEMS สามารถใช้สำหรับการกัดแบบเปียกเช่นโพแทสเซียมไฮดรอกไซด์ (KOA), การกัดแบบแห้งเช่นการทำปฏิกิริยาลึก - การแกะสลักไอออน (DRIE), การขึ้นรูปและการชุบ, เครื่องจักรการปล่อยไฟฟ้า (EDM) และเทคโนโลยีอื่น ๆ ที่ผลิตอุปกรณ์ขนาดเล็ก
ระบบไมโครอิเล็กทรอนิกส์อาจเรียกว่าระบบไมโครอิเล็กทรอนิกส์, ไมโคร, เทคโนโลยีไมโครซิสเต็มหรือสมาร์ท
Techopedia อธิบายระบบไมโครไฟฟ้า (MEMS)
MEMS อาจมีขนาดเล็กกว่าความกว้างของเส้นผมมนุษย์และอาจรวมถึงองค์ประกอบหลายอย่างเช่น:
- ไมโคร
- Microactuators
- ไมโครโปรเซสเซอร์
- หน่วยกลางสำหรับการประมวลผลข้อมูล
- ส่วนประกอบสำหรับการโต้ตอบกับองค์ประกอบภายนอก
MEMS มีพื้นที่ผิวต่อปริมาตรขนาดใหญ่และสร้างขึ้นโดยใช้เทคโนโลยีการผลิตซิลิกอน
อุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยไมโครเซอร์กิตที่วางอยู่บนชิปซิลิคอนขนาดเล็กที่ใช้กับส่วนประกอบเชิงกล เทคโนโลยีรองรับอุปกรณ์หลากหลายชนิดที่ควบคุมตรวจจับหรือเปิดใช้งานกระบวนการเชิงกลในขณะที่ทำงานเป็นอาร์เรย์หรือแยกที
ในปัจจุบัน MEMS รวม microsenor หรือ microacuator ที่แตกต่างกันไว้ในสถาปัตยกรรมของพวกเขา แต่อาจมีระดับการดูดกลืนที่ซับซ้อนมากขึ้นในอนาคต การพัฒนาครั้งต่อไปอาจรวมคุณสมบัติส่วนบุคคลหลายอย่างไว้ในระบบเดียว
